結晶シリコン再生

結晶シリコン再生　●半導体向シリコン再生で25年の実績
●クリーン環境・混酸エッチング設備で高品位洗浄を実現　●物理的処理・化学的処理を最適に組み合わせ、お客様のニーズに応えます

シリコン再生事業の概要

主な再生シリコン材料

トップ＆テール／シリコン端材（30mm以上）／ポリシリコン

再生手順の流れ

材料入荷

重量チェック、P.N抵抗値確認
洗浄前処理

異物除去、研磨処理、熱処理、溶剤拭き取り
エッチング処理

混酸エッチング　テストピースによるエッチング量管理（クリーンルーム内）
乾燥

低温乾燥（クリーンルーム内）
外観検査

社内資格専門検査員による検査（クリーンルーム内）
計量／梱包

PE2重袋密封（クリーンルーム内）
出荷

洗浄主要設備

前処理室

エッチング装置 — エッチング装置1

エッチング装置 — エッチング装置2

乾燥室

検査室

廃水処理設備

排ガス処理設備

ラボ室

最適のプロセス・設備を探求し
様々なスクラップ材の再生に取り組みます

新規材料の再生洗浄方法の開発

●様々な新規スクラップ材料の再生お引き合いには、培った技術ノウハウをベースに積極的に開発テストに取り組みます。
●ビーカー試験・PILOT装置の製作および試験・各種分析。
●開発テストは内容・規模により有償とさせて頂く場合がございます。